硬度是評價材料力學(xué)性能的一種簡單、效的手段，硬度的定義為某一物體抵抗另一物體產(chǎn)生變形能力的度量；從變形機理上定義為抵抗彈性變形、塑性變形和破壞的能力。在測量固體材料硬度時，總是將一定形狀和尺寸的較硬物體即壓頭以一定的壓力接觸被測試材料表面
當(dāng)前我們所使用的硬度計均為宏觀意義的產(chǎn)品，即使是通過顯微鏡觀察的纖維硬度也是在宏觀的基礎(chǔ)上進行的，宏觀硬度和顯微硬度適用于較大尺寸的試樣，僅能得到材料的塑性性質(zhì)，隨著現(xiàn)代材料表面工程、微電子、集成微光機電系統(tǒng)、生物和醫(yī)學(xué)材料的發(fā)展、試樣本身活表面改性層厚度越來越小，人們在設(shè)計時不僅要了解材料的塑性性質(zhì)，更需要掌握材料的彈性性質(zhì)。傳統(tǒng)的硬度測量已無法滿足新材料研究的需要，納米硬度技術(shù)應(yīng)運而生。
納米硬度計有兩種壓痕硬度和劃痕硬度兩種工作模式，它是一種檢測材料微小體積內(nèi)力學(xué)性能的先進測試儀器。由于壓痕或劃痕深度一般控制在微米甚至納米尺度，該儀器是進行電子薄膜、各類涂層、材料表面及其該改性的力學(xué)性能檢測的理想手段。它不需要將表層從基體上剝離，可以直接給出材料表層力學(xué)性質(zhì)的空間分布，例如，能檢測出焊點及其附近材料的力學(xué)性質(zhì)。由于試樣準(zhǔn)備簡單，即使材料達到可以用其他宏觀方法檢測，該方法仍然是一種可以選擇的方法。

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